SRM 2000 高分辨率 X 射線衍射標準品 為高分辨率 X 射線衍射 (HRXRD) 社區提供了國際單位制 (SI) [1] 可追溯的 Si (220) 透射間距、表面到晶面晶片我們的參考波長在反射中的誤切和表面到硅 (004) 布拉格角。 SRM 2000 的一個單元由 25 mm × 25 mm × 0.725 mm 雙拋光 (100) 取向的單晶硅樣品組成，具有標稱 50 nm Si0.85Ge0.15 外延層和 25 nm 硅帽。

這些認證值可用于校準 HRXRD 儀器。

搬運、儲存和使用說明儲存和搬運：

外延層可能損壞或晶片機械應變；因此應避免與SRM 2000 高分辨率 X 射線衍射標準品 的前表面接觸。要去除表面污染物，請使用過濾后的氮氣。峰輪廓：測量的衍射峰明顯不對稱。支持性測量表明，這種不對稱性可能不完全是由于儀器效應造成的，但部分是由于SRM 2000原料的特性造成的。因此，使用分裂Pearson VII輪廓來擬合和估計峰值位置，并建議用于確定校準的峰值位置。由于不對稱性對輪廓位置確定的不同影響，使用另一個輪廓函數可能會導致系統內偏差。

使用

建議使用Si（220）傳輸中測量的d-間距：直接使用經過認證的d-間距進行校準，dSRM需要一個可以測量傳輸幾何形狀的儀器。如果可能的話，可以校準儀器單色器的波長λinst或Si（220）反射附近的角度測量值Δθinst。

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